天津北方網(wǎng)訊：近日，清華大學(xué)天津電子信息研究院（以下簡稱“清華電子院”） 作為第一完成單位，聯(lián)合清華大學(xué)、清華電子院孵化企業(yè)天津華慧芯科技集團有限公司等單位研發(fā)的“微納結(jié)構(gòu)光電子芯片關(guān)鍵制備工藝及應(yīng)用”成果獲評2022年度天津市技術(shù)發(fā)明特等獎。

據(jù)悉，該項目獎勵是清華電子院首次作為第一完成單位獲得的省部級技術(shù)發(fā)明獎。項目主要完成人清華大學(xué)學(xué)術(shù)委員會副主任、清華電子院特聘院長黃翊東與天津華慧芯科技集團有限公司董事長曲迪接受津云專訪。

“光電子芯片和微電子芯片特別不一樣，它的種類非常多，涉及材料面廣、制程復(fù)雜，而且無法使用成熟的CMOS工藝。很多新型的光電子芯片，目前在國際上也還處于尚未形成產(chǎn)品的研發(fā)階段，這就給我們提供了非常難得的發(fā)展機遇?！秉S翊東說。

【資料圖】

但在發(fā)展過程中，面臨許多難題，“要發(fā)展微納結(jié)構(gòu)光電子芯片，無論是前沿的創(chuàng)新研究，還是成果的產(chǎn)業(yè)落地，都亟需解決它在制備工藝上面臨的短板?！秉S翊東進一步說。

回國后，黃翊東為了發(fā)展光電子芯片產(chǎn)業(yè)著手培養(yǎng)相關(guān)領(lǐng)域人才，曲迪就是黃翊東培養(yǎng)的眾多學(xué)生中的一位。

近20年來，黃翊東堅持不懈帶領(lǐng)團隊從微納結(jié)構(gòu)光電特性的物理機理出發(fā)，梳理構(gòu)成微納光電子芯片的主要基本結(jié)構(gòu)及其核心工藝，針對光子晶體、表面等離激元、光聲微腔等典型的微納光電子結(jié)構(gòu)，取得了相關(guān)關(guān)鍵制備工藝的創(chuàng)新突破。

此次獲獎的成果在國際上處于領(lǐng)先水平。黃翊東說：“光子晶體刻蝕的側(cè)壁鈍化/側(cè)蝕動態(tài)平衡技術(shù)，解決了光子晶體制備工藝中刻蝕側(cè)壁傾斜的難題；磁控濺射離子密度/速度均衡調(diào)控技術(shù)，解決表面等離激元所需納米級金屬薄膜厚度、表面起伏難以精準(zhǔn)控制的難點；低表面張力的片上懸臂梁制備工藝，解決了納米懸臂梁極易坍塌而無法制備具有足夠腔長的光聲微腔這一難點。”

談到對光電子芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的促進作用，黃翊東介紹說：“項目成果為154家企業(yè)制備了高質(zhì)量的微納結(jié)構(gòu)光電子芯片，除光子晶體、表面等離激元波導(dǎo)、懸空結(jié)構(gòu)、納米線波導(dǎo)外，還有各種結(jié)構(gòu)的光柵，推動了微納光電子芯片在產(chǎn)業(yè)上的應(yīng)用；為17家企業(yè)制備了54片4吋大微納結(jié)構(gòu)模板，用于產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)，推動了微納光電子芯片的批量化產(chǎn)業(yè)進程；為39家光電子領(lǐng)域高科技初創(chuàng)企業(yè)制備核心微納結(jié)構(gòu)光電子芯片，這39家初創(chuàng)企業(yè)總估值逾400億，集中了很多最新的科研成果，我們的芯片加工工藝推動了微納光電子芯片創(chuàng)新研究的成果轉(zhuǎn)化。”

曲迪作為華慧芯的負責(zé)人，他說：“目前，我們已經(jīng)為500余個科研團隊的前沿研究和企業(yè)的新產(chǎn)品研發(fā)提供定制的微納結(jié)構(gòu)芯片加工和工藝研發(fā)服務(wù)，不斷助力高校及科研院所科技前沿研究，推動企業(yè)在研產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化進程?！?/p>

據(jù)悉，2022年5月，清華電子院光電子芯片產(chǎn)業(yè)化項目（華慧芯二期）落地天津生態(tài)城濱海旅游科技產(chǎn)業(yè)園，項目投產(chǎn)后，可規(guī)模生產(chǎn)激光器、調(diào)制器、超結(jié)構(gòu)等高端光電子芯片，面向光通信、自動駕駛、增強現(xiàn)實等領(lǐng)域?qū)Ω叨斯怆娮有酒男枨螅瑤訁^(qū)域光電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

談起下一步規(guī)劃，曲迪說：“眼下，我們光電子芯片的生產(chǎn)線即將投產(chǎn)，計劃導(dǎo)入激光器、薄膜鈮酸鋰調(diào)制器等產(chǎn)品，實現(xiàn)高端光電子芯片的規(guī)模化生產(chǎn)?！?/p>

黃翊東表示，項目團隊取得今天的成績，離不開京津冀協(xié)同發(fā)展，相信在天津，該項目一定能發(fā)揮對天津市芯片產(chǎn)業(yè)鏈“補鏈強鏈”作用，對推動光電子產(chǎn)業(yè)生態(tài)發(fā)展做出更大的貢獻。（津云新聞記者 苑美麗）

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