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微電子工業(yè)中低氣壓放電等離子體不穩(wěn)性與控制的研究_全球熱點(diǎn)評(píng)
來源：互聯(lián)網(wǎng) 時(shí)間：2023-03-10 00:44:31
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1、 《微電子工業(yè)中低氣壓放電等離子體不穩(wěn)性與控制的研究》是依托大連理工大學(xué),由馬騰才擔(dān)任項(xiàng)目負(fù)責(zé)人的面上項(xiàng)目。
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